近日，上海真空科技进步奖评选结果揭晓，苏州八匹马超导科技有限公司应用于半导体离子注入的主动式双变频智能多型串并联低温泵系统研发及产业化项目荣获二等奖，标志着公司在半导体超高真空核心装备领域的技术创新成果获得行业权威认可。

半导体离子注入设备所用低温泵长期被海外品牌垄断，国产化率不足 10%，是制约产业链自主可控的关键短板。八匹马超导团队自主攻坚，研发双变频智能多机型串联低温泵系统，攻克四大核心技术：冷泵 - 压缩机双变频耦合调控、多机组串联气量精准分配、自研半导体设备兼容通讯协议、超低温高精度恒温控制，填补国内双变频智能组网低温泵技术空白。

低温泵

氦压缩机

项目首创双压缩机拖多台冷泵柔性组网方案，极限真空可达 10⁻⁷Pa，氮气、氢气抽速等核心指标全面超越行业国际主流进口产品；降温、再生效率大幅提升，整机能耗降低 20%-30%，振动干扰显著减少，完美适配先进制程精密工艺需求。产品核心原材料国产化率 95%，配套多项发明专利、实用新型专利与软件著作权，通过 CE、SEMI 权威认证。

目前八匹马低温泵已批量供货国内多家头部半导体设备厂商，广泛应用于半导体PVD、离子注入、薄膜沉积、分子束外延等领域，可直接对标进口设备实现整机原位替换。项目落地累计创造产值超千万，大幅降低国内制造企业设备采购、后期维保综合成本，在经济效益与半导体产业链自主保障层面均具备突出价值。

此次获奖是行业对八匹马超导低温真空技术实力的高度肯定。未来公司将持续深耕 GM 超低温制冷与智能真空装备研发，不断突破高端真空装备技术壁垒，以自主创新助力我国半导体产业链安全稳定发展。